3月,邵武市金塘工業園區內,凌空架起的管廊蜿蜒穿行,串聯起一座座反應釜、儲罐與塔器。手機芯片、航天探測器、新能源電池……這些看似毫不相干的尖端產品,都離不開這里生產的新材料。
走進福建福豆新材料有限公司的實驗室,科研人員正專注地調試連續化吸附分離裝置。這家成立于2020年底的年輕企業,乘著“十四五”發展東風,短短數年便實現跨越式突破。
不久前,福豆參與制定的國家標準《電子氣體 鹵化物氣體》正式實施?!斑^去是客戶定標準,我們照著做。”福豆總經理馬建修感慨,“現在,我們能參與制定國標了。”此前電子氣體行業缺乏統一規范,同為5N純度的產品,因檢測口徑、雜質判定標準不同,品質參差不齊。新國標為行業立下統一標尺,規范了市場秩序。
一枚指甲蓋大小的硅片,歷經沉積成膜、刻蝕、清洗、摻雜等多道精密工序,形成幾十億甚至上百億個晶體管,方能成為芯片。福豆研發生產的30余種電子特氣、10余種前驅體,正是芯片制造的關鍵材料。
研發人員每天忙的,就是怎么把這些氣體做得既“純凈”又“穩當”。福豆的部分拳頭產品純度高達5N~6N(99.999%~99.9999%),此外,運輸安全、充裝存儲、分析檢測等技術,亦構成行業的核心壁壘。
“工業原料雜質種類繁雜,有的沸點和目標氣體相差極小,常規工藝難以分離;有的金屬雜質肉眼看不見,卻會在芯片上沉積,影響良率。”馬建修解釋,“每種氣體、每種雜質特性各異,須量身定制不同方案,研發多種特制吸附劑,將雜質逐一攔截、篩除?!?/p>
半導體生產對電子特氣產品穩定性要求極高,批次純度稍有偏差,客戶整條生產線上千萬元的芯片都可能報廢。研發團隊扎根實驗室,反復微調原料配比、吸附劑選型、溫度、壓力等參數,哪怕一個參數調了三四個月,如果還是不穩定,團隊也會毫不猶豫推倒重來。
厚積薄發,終結碩果?!叭缃?,我們有多項產品實現國內首創或獨家量產,實現進口替代。像我們生產的乙烯純度達到5N8級別,突破日本和法國企業的技術封鎖,全國市占率飆升至40%?!瘪R建修說。
2025年12月,在政府引導下,福豆聯合邵武多家氟新材料企業,以“揭榜掛帥”的方式,組建了由福州大學侯琳熙教授牽頭的省級科特派團隊,聚焦含氟氣體、液體、固體新品類研發,推動光刻膠等項目落地。
“下一步,我們將瞄準3納米以下先進制程芯片配套材料?!瘪R建修說。一根頭發絲直徑約6萬至8萬納米,3納米僅相當于發絲直徑的2萬分之一,這正是福豆接下來要攻克的技術高峰。
離福豆不遠的福建永晶科技股份有限公司,同樣走出了一條奮進之路。其前身邵武市氟化廠于2001年破產后,現任董事長崔桅龍接手并帶領企業改制、轉型。經過20多年的發展,永晶科技把氫氟酸從“工業級”做到“電子級”,成為全國最大的G5級電子級氫氟酸供應商之一,產品遠銷30多個國家和地區。
“我們和廈門嘉庚創新實驗室、西安近代化學研究所合作,實現芯片半導體高端產品落地?!庇谰Э萍佳邪l總監羅偉棻說,“公司現有授權專利193項,近年來,我們還布局5-氟胞嘧啶(抗真菌藥)、西格列?。ń堤撬帲┑群t藥中間體,為國內制藥企業提供穩定、高性價比的原料選擇,切實惠及民生?!?/p>
瞄準高精尖賽道,金塘工業園區正集聚起一批“隱形冠軍”:福建科潤打破美國戈爾公司壟斷,二期項目建成后將成為全球最大的全氟磺酸樹脂生產基地;永庚科技率先實現半導體關鍵材料國產化及量產應用;永太高新破解鋰電池電解液核心原料“卡脖子”難題,拳頭產品雙氟磺酰亞胺鋰讓日韓壟斷成為歷史……
“十五五”規劃綱要提出,聚焦戰略必爭領域和產業鏈供應鏈薄弱環節,采取超常規措施,全鏈條推動集成電路、工業母機、高端儀器、基礎軟件、先進材料、生物制造等重點領域關鍵核心技術攻關取得決定性突破。
面向“十五五”,“鐵城”邵武已先行落子:與福州大學共建氟新材料“產研大腦”,設立億元科創基金,實現“企業出題、高校答題、市場閱卷”;邀請付賢智、田禾等7位院士組成高質量發展顧問團,定期為園區發展把脈問診;成立省級氟新材料制造業創新中心,與清華大學、廈門大學、福州大學等知名院校建立合作;規劃建設“氟化工新材料中試平臺”,由付賢智院士擔任平臺總設計師,聚焦含氟聚合物、新能源材料等領域,打通實驗室到產業化的“最后一公里”。